等離子清洗機(jī)裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來(lái)愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來(lái)愈長(zhǎng)，受電場(chǎng)作用，它們發(fā)生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng)，不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體，從而達(dá)到清洗的效果；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿(mǎn)足刻蝕的需要。

　　等離子體清洗依靠等離子體中活性粒子的“活化作用“達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來(lái)看，等離子體清洗通常包括以下過(guò)程：無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。有效地防備了因液體沖刷介質(zhì)對(duì)被沖刷物帶來(lái)的二次污染。等離子沖刷機(jī)外接一臺(tái)真空泵，工作時(shí)沖刷腔中的等離子體輕柔沖刷被沖刷物的表面，短時(shí)間的沖刷便可以使有機(jī)污染物被沖刷掉，同時(shí)污染物被真空泵抽走，其沖刷程度達(dá)到分子級(jí)。

　　等離子清洗機(jī)的沖刷器除了擁有超沖刷功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能，等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組，形成新的表面特性。對(duì)某些有特殊用途的材料，在超沖刷過(guò)程中等離子沖刷器的輝光放電不只加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性，并可消毒和殺菌。等離子沖刷器寬泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀(guān)流體學(xué)等領(lǐng)域。